¡à KRISS(Çѱ¹Ç¥ÁØ°úÇבּ¸¿ø, ¿øÀå ±è¸í¼ö)°¡ 8¿ù 23ÀÏ(È) ¿ÀÀü 9½Ã ¹ÝºÎÅÍ º»¿ø ±â¼úÁö¿øµ¿¿¡¼ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤ Áø´Ü ±â¼úÀÇ ¹Ì·¡»óÀ» Á¦½ÃÇÏ´Â `Á¦5ȸ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤Áø´Ü ¿öÅ©¼ó'À» °³ÃÖÇÑ´Ù.
¡à ±Ø¹Ì¼¼ ÆÐÅÏÈ µÇ°í ÀÖ´Â ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡¼ °æÀï·ÂÀ» È®º¸Çϱâ À§Çؼ´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿¡ ´ëÇÑ ½Ç½Ã°£ Áø´Ü ¹× Á¦¾î±â¼ú°³¹ßÀ» ÅëÇØ »ý»ê½Ã°£À» ´ÜÃàÇÏ°í, ¼öÀ²Çâ»óÀ» ÀÌ·ç¾î³»´Â °ÍÀÌ Áß¿äÇÏ´Ù.
¡à À̸¦ À§ÇØ À̹ø ¿öÅ©¼ó¿¡¼´Â ¹ÝµµÃ¼ µð½ºÇ÷¹ÀÌ »ý»ê°øÁ¤¿¡ ´ëÇÑ ¸ð´ÏÅ͸µ, ºÐ¼®, Á¦¾î, °ü¸® µîÀ» À§ÇÑ ÇöóÁ °øÁ¤Áø´Ü°ú ÈÇÐÁõÂøÀåºñ(CVD)¤ý¿øÀÚÃþÁõÂøÀåºñ(ALD) °øÁ¤Áø´Ü, ¿À¿°¿ø ¹× ÆßÇÁÁø´Ü, °ü·Ã µ¥ÀÌÅÍó¸® °³¹ß ÇöȲ µî¿¡ ´ëÇØ ÁýÁßÀûÀ¸·Î ³íÀÇÇÑ´Ù. ƯÈ÷, À̹ø ¿öÅ©¼ó¿¡¼´Â Áö½Ä°æÁ¦ºÎ Àü·«±â¼ú°³¹ß»ç¾÷(¿¬±¸Ã¥ÀÓÀÚ : KRISS ½Å¿ëÇö ¹Ú»ç)À¸·Î °³¹ßÇÑ ÇöóÁ, ¿À¿°ÀÔÀÚ, ±âüÁø´Ü ÀåÄ¡ µîÀ» ÇÔ²² Àü½ÃÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
¡à Áø°ø±â¼ú¼¾ÅÍ ½Å¿ëÇö ¹Ú»ç´Â "¿ì¸®³ª¶ó´Â ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤±â¼ú¿¡ ÀÖ¾î ¼¼°è ÃÖ°í ¼öÁØÀÌÁö¸¸ ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤À» ½Ç½Ã°£À¸·Î ¸ð´ÏÅ͸µÇÏ°í ºÐ¼®ÇÏ´Â Áø´Ü±â¼úÀº Ãë¾àÇÑ ½ÇÁ¤"À̶ó¸ç "¾ÕÀ¸·Î ¿öÅ©¼óÀ» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ½Ç½ÃÇØ ¹ÝµµÃ¼»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó µð½ºÇ÷¹ÀÌ, ¿¡³ÊÁö ºÐ¾ß µîÀ¸·Î Àû¿ë¹üÀ§¸¦ ³ÐÇô »ê¾÷ü °¢ ºÐ¾ßÀÇ °æÀï·ÂÀ» ³ôÀ̴µ¥ ±â¿©ÇÒ °Í"À̶ó°í ¸»Çß´Ù.
|