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  표준硏, 반도체공정진단 워크숍 개최 (파이낸셜 뉴스 2008.6.23)
  글쓴이 : 관리자     날짜 : 08-06-24 02:07     조회 : 11049    
   http://www.fnnews.com/view?ra=Sent0901m_View&corp=fnnews&arcid=0000092… (3514)
표준硏, 반도체공정진단 워크숍 개최
2008-06-23 14:32:26
 
 
한국표준과학연구원은 24일 대전 대덕연구단지내 연구원에서 제2회 반도체공정진단 워크숍을 개최한다.

이 행사는 차세대 반도체 기술의 핵심 중 하나인 ‘실시간 공정 모니터링 분석 진단기술 개발’을 주제로 열린다.

이번 워크숍에선 미국 카네기멜론대학 스트로지바스 교수와 스트라툼사 마커스 캐버리 기술총괄팀장이 각각 ‘공정과 수율 상관관계의 총체적 모델링’과 ‘RF센서를 이용한 실시간 박막공정진단’에 대한 특별 초청 세미나를 진행한다. 또 서울대 김곤호 교수의 ‘전기신호를 이용한 공정 플라즈마 진단 기술 개발 현황’ 등 국내 연구진의 발표도 준비됐다.

표준연 윤주영 박사는 “현재 우리나라 반도체 공정기술은 세계 최고 수준의 경쟁력을 갖고 있지만 반도체 공정을 실시간으로 모니터링하고 분석할 수 있는 진단기술은 매우 취약한 실정”이라며 “이 워크숍이 정기적인 산·학·연 연계 프로그램으로 자리 잡아 반도체 공정 및 장비 기술 자립화를 높이는 데 기여할 것”이라고 말했다.

/economist@fnnews.com이재원기자


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